déposition en phase vapeur à basse température
- déposition en phase vapeur à basse température
- žematemperatūris garinis nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. low-temperature vapor deposition
vok. Tieftemperaturdampfabscheidung, f
rus. низкотемпературное осаждение из паровой фазы, n
pranc. déposition en phase vapeur à basse température, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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